МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ П'ЄЗОРЕЗИСТИВНОГО МІКРОДАВАЧА ТИСКУ ДЛЯ КОМПОНЕНТНОГО РІВНЯ ПРОЕКТУВАННЯ

  • A.I. Holovatyy Тернопільський національний технічний університет ім. Івана Пулюя, м. Тернопіль
  • V.M. Teslyuk Національний університет "Львівська політехніка", м. Львів
  • A. Yu. Zelinskyy Національний університет "Львівська політехніка", м. Львів
Ключові слова: мікроелектромеханічні системи (МЕМС), п'єзорезистивний МЕМС давач тиску, модель, автоматизоване проектування

Анотація

Розроблено математичну модель п'єзорезистивного МЕМС давача тиску. Змодельовано реакцію мікродавача, спричинену дією прикладеного тиску, а саме механічні напруження в його діафрагмі, її максимальний прогин, зміну опорів вимірювальних п'єзорезисторів, вихідну напругу мостової схеми Вітстона. Досліджено вплив геометричної форми і конструктивних розмірів діафрагми на її максимальний прогин і чутливість мікродавача від прикладеного тиску. Побудована модель мікродавача тиску може бути використана для аналізу його вихідних параметрів на компонентному рівні проектування.

Завантаження

Дані завантаження ще не доступні.
Опубліковано
2015-02-26
Як цитувати
Holovatyy, A., Teslyuk, V., & Zelinskyy, A. Y. (2015). МАТЕМАТИЧНА МОДЕЛЬ П’ЄЗОРЕЗИСТИВНОГО МІКРОДАВАЧА ТИСКУ ДЛЯ КОМПОНЕНТНОГО РІВНЯ ПРОЕКТУВАННЯ. Scientific Bulletin of UNFU, 25(1), 374-381. вилучено із https://nv.nltu.edu.ua/index.php/journal/article/view/1193
Номер
Том 25 № 1 (2015): Науковий вісник НЛТУ України
Розділ
Інформаційні технології та моделювання в економіці

Статті цього автора (авторів), які найбільше читають